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Les propriétés physico-chimiques et électromécaniques des nanosystèmes mécaniques (NEMS) permettent de sonder le monde de la physique moléculaire et supramoléculaire. La réalisation de ces démonstrations scientifiques demande un soin particulier dans le choix de l’instrumentation à utiliser et pour la conception des nano-objets.
Cet ouvrage présente les démarches scientifiques ad hoc requises pour optimiser ces conditions de réalisation. Étudiant les nanosystèmes sous l’angle de l’automatique, de l’électronique et de la physique, il traite à la fois leurs aspects théoriques et technologiques.
Nanosystèmes électromécaniques expose les principes de base des NEMS et les méthodes de transduction des déplacements nanométriques, et ensuite il décrit les techniques d’interfaçage avec le monde macroscopique basées sur leur co-intégration avec des circuits. Les principaux travaux théoriques et expérimentaux sur les effets d’échelle sont également présentés ainsi que de nouveaux paradigmes d’application des NEMS.
1. Des MEMS aux NEMS
2. Transduction à l’échelle nanométrique et notion de bruit
3. Intégration monolithique des NEMS avec leur électronique
de lecture
4. NEMS et effets d’échelle
5. Conclusion et perspectives applicatives : de la physique fondamentale à la physique appliquée
